對(duì)于潔凈室的塵源,除了來自室外大氣的塵粒和進(jìn)入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外,潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內(nèi)操作人員,潔凈室的圍護(hù)和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。
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